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검색결과 [MEMS]

용어설명

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)

 

센서, 액추에이터(actuator) 등 소형 기계 구조물에 반도체, 기계, 광 등 초정밀 반도체 제조 기술을 융합하고 미세 가공하여 전자기계적 동작할 수 있도록 한 마이크로 단위의 작은 부품 및 시스템, 또는 이를 설계, 제작하고 응용하는 기술. 멤스는 정보기기의 센서나 잉크젯 프린터 헤드, HDD 자기 헤드, 프로젝터 등 초소형이면서 고도의 복잡한 동작을 필요로 하는 기기에 사용된다.

 

- 자료출처: 한국정보통신기술협회(TTA)

 

 

             

 

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